Hersteller: Cressington Coating Systems

Typ: Cressington 108auto und Cressington 108carbon/A

 

Propenpräparation für die Rasterelektronenmikroskopie: Kathodenzerstäubung für dünne Goldschichten - Cressington 108auto

Technische Daten

Abmessungen des Rezipienten

  • Ø 120 x 120 mm

Sputtertarget

  • Standardtarget Au Ø57 x 01, mm

Sputterkopf

  • Cool-Planar Sputter Magnetronquelle mit Magnetschaltung

 Steuerung

  • Mikroprozessorsteuerung, Vakuumunabhängig
  • automatischer oder manueller Ablauf
  • mit Zeitschalter 0 bis 300 Sekunden
  • Vakuum Safety-Lock, Freigabe AUTO ab 0,5 mbar

Sputterzeit

  • 1 - 300 Sekunden

Sputterstrom

  • Wahlweise 10, 20, 30 und 40 mA

Probentisch

  • 6 Standardprobentische für Stiftprobenteller mit Ø 12,7 mm
  • Höhenverstellung von 0 - 50 mm

Prozessgas

  • Argon 4,8 (99,998 %)

Pumpsystem

  • direkt getriebene Rotationspumpe 2,5 m3/h
  • Pumpzeit maximal 30 Sekunden bis 0,1 mbar

Maße

  • 420 x 290 x 295 mm
  • 26 kg
 

Beschreibung

Mit dem Cressington 108auto Sputter Coater kann man Proben vor der Untersuchung in einem Rasterelektronenmikroskop auf einfache Art mit einer elektrisch leitenden Schicht versehen. Der Cressington 108auto Sputter Coater arbeitet mit Niederspannung (450-650V) und einer magnetischen Ablenkung, um eine Erwärmung der Probe zu vermeiden. Das Gerät kann Dünnschichten aus Gold, Gold/Palladium, Silber oder Kupfer aufsputtern. Standardmäßig ist der 108auto mit einem Goldtarget ausgestattet. Die Targets sind durch einen einfachen Klemmring schnell auszuwechseln.
Mit einer Rotations-Vakuumpumpe wird die Probenkammer abgepumpt und der erwünschte Druck des Argonprozessgases eingestellt.
Der normale Ablauf eines Sputtervorgangs ist:

  • Probe in die Probenkammer einsetzen
  • Probenkammer abpumpen
  • Probenkammer mit Argon spülen
  • Argondruck einstellen (typisch zwischen 0,05 - 0,1 mbar)
  • Sputtern mit der gewünschten Zeit.

Der Cressington 108auto Sputter Coater bietet neben dem manuellen Betrieb einen automatisehen Prozessablauf. Damit ist die optimale Einstellung und gleichzeitig das Beschichten mit reproduzierbaren Schichten gewährleistet.

 

Propenpräparation für die Röntgenmikroanalyse: Kohlenstoffbedampfung - Cressington 108carbon/A

Technische Daten

Abmessungen des Rezipienten

  • Ø 120 x 120 mm

Bedampfungskopf

  • Bradley Type mit Ø 6,15 mm Kohlestäben und V2A
  • Schiebehalter mit Federdruck

 Steuerung

  • Mikroprozessorsteuerung, mit Rückkopplungsschaltung für Strom und Spannung
  • automatischer oder manueller Ablauf
  • Freigabe zur Bedampfung ab 0,1 mbar

Bedampfungszeit

  • 1 - 30 Sekunden

Bedampfungsstrom

  • maximal 180 A

Probentisch

  • 6 Standardprobentische für Stiftprobenteller mit Ø 12,7 mm
  • Höhenverstellung von 0 - 50 mm

Pumpsystem

  • direkt getriebene Rotationspumpe 2,5 m3/h
  • Pumpzeit maximal 30 Sekunden bis 0,1 mbar

Maße

  • 420 x 290 x 295 mm
  • 30 kg
 

Beschreibung

Mit dem Cressington 108carbon/A Carbon Coater kann man Proben vor der Untersuchung in einem Rasterelektronenmikroskop auf einfache Art mit einer elektrisch leitenden Kohlenstoff-Schicht versehen. Dazu wird in der Vakuumkammer Strom von 100 bis 150 A über einen profilgespitzten Kohlestab geführt, wobei der Kohlenstoff in einem Lichtbogen verdampft. Mit einer  Rotationsvakuumpumpe wird die Vakuumkammer abgepumpt, bis ein Vakuum von 10 mbar oder besser erreicht ist.
Der normale Ablauf eines Bedampfungsvorganges ist:

  • Kohlestäbe mit dem Profilanspitzer anspitzen
  • Kohlestäbe einbauen
  • Probe in die Probenkammer einsetzen
  • Probenkammer abpumpen bis ein Vakuum von 10'2 mbar oder besser erreicht wird
  • Mit Kohlenstoff bedampfen

Der Cressington 108carbon/A Carbon Coater bietet neben dem manuellen Betrieb einen automatischen Prozessablauf. Damit ist die optimale Einstellung und gleichzeitig das Beschichten mit reproduzierbaren Schichten gewährleistet.

Für die Röntgenmikroanatyse im Rasterelektronenmikroskop ist das Sputtern von Dünnschichten aus Gold, Gold-/Palladium usw. nicht geeignet. Durch diese Sputterschichten treten folgende Probleme auf:

  • mögliche Uberlagerung von charakteristischen Röntgenlinien
  • Absorption von charakteristischen Röntgenlinien
  • Materialkontrast bei Abbildung mit Rückstreuelektronen nur bedingt sichtbar

Um diese Probleme zu vermeiden, sollte man die Proben mit Kohlenstoff beschichten. Der Cressington 108carbon/A Carbon Coater ist hervorragend für die Röntgenmikroanalyse, sowie für Abbildungen mit Vergrößerungen bis etwa 15.000-fach geeignet.