Hersteller: 3D-Micromac

Typ: microSTRUCT C

 

Technische Daten

Laserquelle

Light Conversion Pharos

Diodengepumpter Yt:KGW Festkörperlaser mit Frequenzverdopplung und -verdreifachung

  • 15 W Ausgangsleistung
  • Wellenlängen 1030/515/343 nm
  • maximale Pulsenergie xx µJ
  • Pulsdauer einstellbar zwischen 200 fs und 10 ps (typisch 212 fs)
  • Wiederholungsrate einstellbar zw. Einzelpuls und 600 kHz
  • Strahlqualität M² < 1.3,  TEM00

Max. Substratgröße 

  • 110 mm x 110 mm (Bearbeitungsfläche)

Positioniersystem

Aerotech ANT130-110-XY-PLUS

  • Positionsgenauigkeit +- 300 nm
  • Wiederholungsgenauigkeit +- 100 nm

Optische Komponenten

  • Scanlab RTC 5 - Galvoscanner zum schnellen Verfahren des Fokuspunktes auf der Substratoberfläche
  • Optischer Abschwächer
  • Möglichkeit zum Mapping der Substrat-Oberflächen-Topologie und der Z-Nachführung des Fokuspunktes bei der Bearbeitung durch 3D-Scanner-Modul

 

 

Beschreibung

Ultrakurze Laserpulse mit Pulsdauern von weniger als einigen Picosekunden erlauben im Bereich der Mikroproduktion völlig neue Bearbeitungsverfahren, die mit bisher verwendeten Werkzeugen nicht möglich waren. Aufgrund der, durch die extrem hohen Spitzenintensitäten der Pulse, möglichen „kalten“ Ablation ist die Bearbeitung aller Materialklassen einschließlich transparenter und temperatur-empfindlicher Werkstoffe möglich. Zusätzlich zu den abtragenden Verfahren sind aber auch additive Verfahren wie die Zwei-Photonen-Polymerisation oder Laser-Induced Forward Transfer von großem Interesse