Allgemeine Informationen 

Hersteller: Zeiss/Oxford Instruments 

Typ: DSM 960 A/Oxford EDX-Analysesystem INCA

 

Technische Daten 

Beschleunigungsspannung und Strahlstrom 
  • 0,49 kV - 30 kV; 1pA - 3 µA bei 30 kV, Wolframkathode

Blenden

  • 40 µm, 70 µm, 120 µm, 200 µm, 400 µm, 1000 µm Molybdän-Blenden

Präparatkammer

  • 270 x 310 x 270 mm³, nickelbeschichtete Kammerwandung, Vakuumgrenzdruck: 10-7 hPa

 Präparattisch

  • 360° kontinuierliche Drehung, Kippwinkel -15° - +90°, 4“-Substrathalterung, div. Präparathalter

Säule und Kammer sind schwingungsisoliert

Beschreibung 

Die Rasterelektronenmikroskopie wird in der Regel zur morphologischen und analytischen Untersuchung von Oberflächen eingesetzt. Dabei sind aufgrund der großen Schärfentiefe sowohl sehr glatte als auch besonders rauhe Oberflächen abzubilden. Das hohe Auflösungsvermögen ermöglicht hohe Vergrößerungen von Mikro- und Nanostrukturen. Durch die Erzeugung von charakteristischen Röntgenstrahlen ist die Möglichkeit zur Röntgen-Mikrobereichsanalyse gegeben, um Angaben über die lokal in einem Probenbereich vorhandenen Elemente zu machen. Das Signalerzeugende System besteht aus einem Filament (Wolfram-Haarnadelkathode), einem Wehnelt-Zylinder und einer Anode. In der darunterliegenden Mikroskop-Säule wird der erzeugte Elektronenstrahl durch ein Linsensystem verkleinert, so dass ein möglichst kleiner Strahldurchmesser auf der Probe entsteht.