Allgemeine Informationen 

Hersteller: Fairchild 

Typ: Acid CleanerConvac MDL 1110SN175

Baujahr: 1995

 

Technische Daten 

Entfernung organische Stoffe 
  • Schwefelsäure (H2SO4) und Wasserstoffperoxid (H2O2)

Entfernung von Partikeln

  • DI-Wasser-Hochdruckstrahl

Spülung

  • DI-Wasser

Trocknung

  • Trockenschleudern
 

Beschreibung 

Der Sprühprozessor wird im IMT zur Reinigung von Substraten genutzt. Durch den Einsatz von Wasserstoffperoxid und Schwefelsäure können unter anderem organische Verunreinigungen rückstandslos entfernt werden. Für die verschiedenen Ausgangsgrößen der Substrate existieren eine Reihe verschiedener Chucks. Eine leistungsfähige Einheit zur Reinigung der Materialien mit DI-Wasser-Hochdruckstrahl gehört ebenfalls zum Umfang der Anlage.