Allgemeine Informationen 

Hersteller: Ardenne Anlagentechnik GmbH   

Typ: Laborsystem LS 440 S

Baujahr: 1995

Service: Balzers Hochvakuum GmbH

 

Technische Daten 

insgesamt 3 Sputterkammern   
  • Kammer 1: Sputterkammer
    • 4 Magnetrons Sputterquelle PPS 125
  • Kammer 2: Sputterkammer
    • 1 Magnetron Sputterquelle PPS 125
  • Kammer 3: Ätzkammer - RF-Plasmaätzen (AEK)
    • 1 Inverser Sputterätzer ISE 125

verfügbare Materialen

  • Al, AlSiCu, Al2O3, Cr, Au, Cu, Ni, NiTi, NiFe, Pyres, ITO, Ag, Ti

technische Gase

  • Arbeitsgas: Ar
  • Flutgas: N2
  • Reaktiv Gas: O2

 Software

  • Microsoft Windows 3.1 (1991-1995)
  • Microsoft DOS 6.2
  • WICON (Steuerungs- und Visualisierungssoftware für Anlagen- Version 09/1994)

Stromversorgung

  • 2 DC Stromversorgungen (PFG 3000 DC)
  • 2 RF Stromversorgungen (PFG 1000 RF)
  • 1 RF Stromversorgung (PFG 300 RF)