Allgemeine Informationen 

Hersteller: Veeco Metrology Group (heute: Bruker)    

Typ: Dektak 8 Stylus Profiler

 

Technische Daten 

Auflagekraft 
  • 1-15 mg

X-Y-Positioniersystem

  • 200 mm Reichweite
  • +/- 5 µm Wiederholgenauigkeit
  • 3,175 µm Auflösung

Diamantspitzen

  • Spitzenradius: 12,5 µm
  • Spitzenradius: 2,5 µm → für Rauheitsmessungen

Messbereich -> Auflösung (vertikal)

  • 6,5 µm → 0,1 nm
  • 65,5 µm → 1 nm
  • 262 µm → 4 nm
  • 1000 µm → 16 nm

maximale Auflösung (horizontal)

  • 0,033 µm

2 Kameras zur Grob- und Feinpositionierung