Die Veröffentlichungen des IMT werden in Zukunft im Publikationsrepositorium der Universitätsbibliothek abgelegt, welches sich zur Zeit im Aufbau befindet. Zum Repositorium gelangen Sie über diesen Link.

Export 1482 results:
1999
S. Büttgenbach, EDITORIAL: Mikrosensoren und Mikrosysteme Anwendungsinnovation durch Technologieinnovation, Technisches Messen, Bd. 66, S. 175, 1999.
A. Wogersien, Dauer, S. , und Büttgenbach, S. , Fabrication of thin film resistors and silicon microstructures using a frequency doubled Nd:YAG-laser, Proc. of SPIE, Bd. 3680, S. 1105 1112, 1999.
S. Büttgenbach und Robohm, C. , Microflow devices for miniaturized chemical analysis systems, Proc. of SPIE, Bd. 3539, S. 51 61, 1999.
M. Leester-Schädel, Wogersien, A. , Dauer, S. , Paschko, S. , und Büttgenbach, S. , Micromachining of NiTi foils using a Q-switched Nd:YAG-laser, in Proc. 1st International Conference of Precision Engineering and Nanotechnology, 1999, S. 68 71.
S. Büttgenbach, Mikrosensoren und Mikrosysteme: Anwendungsinnovation durch Technologieinnovation, tm - Technisches Messen, Bd. 66, S. 175, 1999.
C. Robohm, Mikrotechnische Entwicklung eines biochemischen Analysegerätes zur Blutalkoholbestimmung: Dissertation, Bd. 2. Aachen: {Technische Universität Braunschweig}, 1999.
S. Büttgenbach, Robohm, C. , und Bilitewski, U. , Miniaturisierte Enzym-Analysesysteme, in Umweltdiagnostik mit Mikrosystemen, G. Henze, Köhler, M. , und Lay, J. P. Weinheim: Wiley-VCH, 1999, S. 201 224.
T. Kleine-Besten, Loheide, S. , Brand, U. , Schlachetzki, A. , und Bütefisch, S. , Miniaturisierter 3D Tastsensor für die Metrologie an Mikrostrukturen, tm - Technisches Messen, Bd. 66, S. 490 495, 1999.
V. D. I. /V. D. E. - Technolog GmbH, MST News. 1999.
S. Dauer, Nd:YAG-Laserstrukturierung in der Silizium-Mikromechanik: Dissertation, Bd. 3. Aachen: {Technische Universität Braunschweig}, 1999.
V. Seidemann, Ohnmacht, M. , und Büttgenbach, S. , An optimized multilayer fabrication process for high aspect ratio electromagnetic devices and microsystems (MEMS), in Proc. 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 1999, Bd. 1, S. 102 105.
S. Büttgenbach, Preface, Journal of Production Engineering, Bd. 12, S. 4 5, 1999.
Proc. 10th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. 1999.
Proc. 1st International Conference of Precision Engineering and Nanotechnology. 1999.
Proc. Sensor 99. 1999.
Proc. STM 99. 1999.
F. Herrmann, Weihnacht, M. , und Büttgenbach, S. , Properties of shear-horizontal surface acoustic waves in different layered quartz/SiO2-structures, Ultrasonics, Bd. 37, S. 335 341, 1999.
, Rapid prototyping of micromechanical devices using a Q-switched Nd:YAG laser with optional frequency doubling, Sensors and Actuators, A: Physical, Bd. 76, S. 381–385, 1999.
R. E. Hollingsworth, Hemdon, M. K. , Collins, R. T. , Benson, J. D. , Dinan, J. H. , und Johnson, J. N. , Resistless patterning of hydrogenated amorphous silicon films, MRS Proceedings, Bd. 557, 1999.
F. Herrmann, Hahn, D. , und Büttgenbach, S. , Separate determination of liquid density and viscosity with sagittally corrugated Love-mode sensors, Sensors and Actuators, Bd. A 78, S. 99 107, 1999.
F. Herrmann, Hahn, D. , und Büttgenbach, S. , Separation of density and viscosity influence on liquid-loaded surface acoustic wave devices, Applied Physics Letters, Bd. 74, S. 3410 3412, 1999.
S. Bütefisch und Büttgenbach, S. , Silicon Three-Axial Tactile Force Sensor [Taktiler Dreikomponenten-Kraftsensor], Technisches Messen, Bd. 66, S. 185–190, 1999.
S. Bütefisch, Dauer, S. , und Büttgenbach, S. , Silicon three-axial tactile sensor for the investigation of micromechanical structures, in Proc. Sensor 99, 1999, Bd. 2, S. 321 326.
S. Bütefisch und Büttgenbach, S. , Taktiler Dreikomponenten-Kraftsensor, tm - Technisches Messen, Bd. 66, S. 185 190, 1999.
G. Henze, Köhler, M. , und Lay, J. P. , Umweltdiagnostik mit Mikrosystemen. Weinheim: Wiley-VCH, 1999.

Pages