Die Veröffentlichungen des IMT werden in Zukunft im Publikationsrepositorium der Universitätsbibliothek abgelegt, welches sich zur Zeit im Aufbau befindet. Zum Repositorium gelangen Sie über diesen Link.

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Book Chapter
S. Bütefisch, Brand, U. , Doering, L. , Dai, G. , Koenders, L. , und Wilkening, G. , Tactile dimensional micrometrology, in Design and manufacturing of active microsystems, S. Büttgenbach, Burisch, A. , und Hesselbach, J. Heidelberg: Springer, 2011, S. 145 166.
S. Bütefisch, Brand, U. , Büttgenbach, S. , und Wilkening, G. , Taktile Messtechnik für aktive Mikrosysteme, in Kolloquium Mikroproduktion, O. Kraft und Emmerich, B. 2007, S. 201 206.
S. Büttgenbach, Prillwitz, B. , und Schmidt, B. , Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quarz, in Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik, V. D. I. /V. D. E. - Technolog GmbH 1990.
B. Hoxhold, Wrege, J. , Bütefisch, S. , Burisch, A. , Raatz, A. , Hesselbach, J. , und Büttgenbach, S. , Tools for handling and assembling of microparts, in Design and manufacturing of active microsystems, S. Büttgenbach, Burisch, A. , und Hesselbach, J. Heidelberg: Springer, 2011, S. 287 308.
R. Bandorf, Küster, R. , Henke, C. , Lüthje, H. , Sick, J. H. , und Neumeister, C. , Tribologie von MEMS-Komponenten, in Kolloquium Mikroproduktion, U. Dilthey und Dorfmüller, T. Aachen: Mainz Verlag, 2005, S. 225 232.
E. Koch, Wilsdorf, F. , und Dietzel, A. , Ultra-Thin sensor array for 3D curvature sensing, in Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, Bd. 9436, 2015.
M. Leester-Schädel und Büttgenbach, S. , Verbundausbildung in der Mikrosystemtechnik, in Aus- und Weiterbildung in Hochtechnologieberufen, A. Bruhne, Herbold, I. , Weiner, A. , und Wichmann, C. Aachen: Shaker Verlag, 2007, S. 46 56.
I. Leber, Niesel, T. , und Dietzel, A. , Waveguide-coupling to be used in a micro optical laser gyroscope, in Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, Bd. 9577, 2015.
Conference Paper
S. Büttgenbach, 10 Years of teaching and research - 5 years of clean room operation, in Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik, Aachen, 2002, Bd. 7.
A. Tibrewala, Phataralaoha, A. , und Büttgenbach, S. , 3D force sensor for coordinate measuring machine, in Proc. 34th International Conference on Micro {&} Nano Engineering, 2008, S. 115.
T. Kleine-Besten, Cao, S. , Hoffmann, W. , Brand, U. , Schlachetzki, A. , Bütefisch, S. , Schmidt, M. , und Büttgenbach, S. , 3D tactile probe for dimensional metrology on microsystem components, in Proc. VDE World Microtechnologies Congress, 2000, Bd. 2, S. 813 818.
E. J. C. Bos, Delbressine, F. L. M. , und Dietzel, A. , 3D tactile sensor for nanometrology, in Proc. MNE 2005 Micro {&} Nanoengineering, 2005.
A. Phataralaoha, Triltsch, U. , Büttgenbach, S. , Seitz, K. , und Roth, R. , 3D-Mikrotaster für Anwendungen in der Wegmesstechnik, in Proc. Mikrosystemtechnik-Kongress, 2005, S. 789 792.
M. Ullah Khan, Prelle, C. , Bencheikh, N. , Lamarque, F. , und Büttgenbach, S. , 3DOF based electromagnetic planar stage, in Proc. 12th International Conference on New Actuators, 2010, S. 492 496.
T. Beutel, Niesel, T. , Leester-Schädel, M. , Paces, P. , und Büttgenbach, S. , 5-Loch-Sonde mit integrierter Sensorik zur Messung hochfrequenter Druckschwankungen: 5-hole probe with integrated sensing devices for measurement of high frequency pressure fluctuations, in Proc. Mikrosystemtechnik-Kongress, 2011, S. 771 774.
U. Triltsch und Büttgenbach, S. , Ableitung mikrotechnischer Prozessfolgen aus Funktionsbausteinen, in Proc. Mikrosystemtechnik-Kongress, 2007, S. 549 552.
A. Boustheen, Homburg, F. G. A. , Bullema, J. E. , und Dietzel, A. , Active microvalves for micro-fluidic networks in plastics - selecting suitable actuation schemes, in Proc. 4th International Conference Multi-Material Micro Manufacture (4M2008), 2008.
M. Leester-Schädel und Büttgenbach, S. , Adaptable microactuators on the basis of shape memory alloys, in Proc. Adaptronic Congress, 2001.
S. Beißner, Puppich, M. , Bütefisch, S. , Büttgenbach, S. , und Elbel, T. , Analog force feedback circuit for capacitive micromechanical acceleration sensors, in Proc. Sensor 2001, 2001, Bd. 2, S. 577 582.
T. Beutel, Boese, C. , und Büttgenbach, S. , Analysis of a closed Wheatstone Bridge consisting of doped Piezo resistors, in Proc. 10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, 2011.
A. 'aldeen T. Al-Halhouli, Analysis on the effect of geometrical design parameters on maximum shear stresses in an electromagnetic micropump, in Proc. MOEMS–MEMS, 2010.
A. 'aldeen T. Al-Halhouli, Kilani, M. I. , Al-Salaymeh, A. , und Büttgenbach, S. , Analytical and numerical investigations of the influence of the geometrical parameters on the flow performance of spiral channel viscous micropump, in Proc. 59th Annual Meeting of the APS Division of Fluid Dynamics, 2006, S. GC.00002.
M. I. Kilani, Al-Halhouli, A. 'aldeen T. , und Büttgenbach, S. , Analytical and numerical simulations of the flow performance of a ferrofluidic magnetic micropump for particle-laden applications, in Proc. 4th International Conference on Thermal Engineering: Theory and Applications, 2009.
M. Alavi, Büttgenbach, S. , Schumacher, A. , und Wagner, H. - J. , Anisotropes Ätzen von Silizium zur Herstellung von mikromechanischen Strukturen: Anisotropic etching of silicon for fabrication of micromechanical structures, in Erstes Symposium Mikrosystemtechnik, 1991, S. 229 232.
M. Alavi, Büttgenbach, S. , Schumacher, A. , und Wagner, H. - J. , Anisotropic etching of silicon for fabrication of micromechanical structures: Anisotropes Ätzen von Silizium zur Herstellung von mikromechanischen Strukturen, in Erstes Symposium Mikrosystemtechnik, 1991, S. 229–232.

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