Die Veröffentlichungen des IMT werden in Zukunft im Publikationsrepositorium der Universitätsbibliothek abgelegt, welches sich zur Zeit im Aufbau befindet. Zum Repositorium gelangen Sie über diesen Link.

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Conference Paper
M. Alavi, Büttgenbach, S. , und Schumacher, A. , Anwendung von Festkörperlasern in der Mikrotechnik, in Proc. 1st International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components, 1990, S. 242 252.
V. Seidemann, Bütefisch, S. , und Büttgenbach, S. , Application and investigation of in-plane compliant SU8 structures for MEMS, in Proc. 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, 2001, Bd. 2, S. 1616 1619.
C. Schrader, Tutsch, R. , Büttgenbach, S. , und Krah, T. , Application of a touch-probe array for the parallel measurement of microstructures, in Proc. Sensor 2009, 2009, Bd. 2, S. 289 293.
N. Lucas, Marchesseault, A. , Thielemann, T. , und Büttgenbach, S. , Application of microplasma stamps for the area-selective modification of polymer surfaces at atmospheric-pressure for the electroless deposition of Nickel, in Workshop Engineering of Functional Interfaces, 2009, S. 25.
S. Büttgenbach und Feldmann, M. , Application of thick film resists in MEMS, in Proc. 3rd International Conference on Materials for Advanced Technologies, 2005, S. 71 74.
A. Hinze, Lucas, N. , Blume, E. , Lachmann, K. , Schiffmann, K. , Büttgenbach, S. , und Klages, C. - P. , Area-selective functionalization of polymer surfaces using atmospheric-pressure microplasmas, in Proc. 3. Thüringer Grenz- und Oberflächentage, 2007, S. 218.
E. J. C. Bos, Schellekens, P. H. J. , und Dietzel, A. , Aspects of tactile probing on a micro scale, in Proc. 9th euspen International Conference and exhibition, 2009.
P. Sichler, Baars-Hibbe, L. , Lucas, N. , Schrader, C. , Büttgenbach, S. , und Gericke, K. - H. , Auf Waferebene integrierter Plasmareaktor für den Atmosphärendruckbereich, in Proc. Mikrosystemtechnik-Kongress, 2005, S. 111 114.
J. Dittmer, Judaschke, R. , und Büttgenbach, S. , Aufbau und Charakterisierung eines mikro-elektromechanischen Torsionssensors für die Hochfrequenzspannungsmessung, in Proc. Mikrosystemtechnik-Kongress, 2007, S. 755 758.
A. Ehlert, Büttgenbach, S. , Bitter, W. , Hasper, B. , und Riß, W. , Automatic groundwater monitoring system, in Proc. Sensor 97, 1997, Bd. 2, S. 155 160.
B. Hoxhold und Büttgenbach, S. , Batchfertigung von SU8-Mikrogreifern mit Formgedächtnisantrieb, in Proc. Mikrosystemtechnik-Kongress, 2005, S. 295 298.
M. Rohland, Arz, U. , Kuhlmann, K. , und Büttgenbach, S. , Breitbandige On-Wafer-Kalibriernormale in Membrantechnologie: Broadband 110 GHz modeling of coplanar waveguides fabricated in membrane technology, in Proc. Mikrosystemtechnik-Kongress, 2011, S. 753 756.
U. Arz, Rohland, M. , Kuhlmann, K. , und Büttgenbach, S. , Broadband 110 GHz on-wafer interconnects built in CMOS-compatible membrane technology, in Proc. of the 25th Asia-Pacific Microwave Conference, 2011, S. 1110 1113.
U. Arz, Rohland, M. , Kuhlmann, K. , und Büttgenbach, S. , Broadband performance of 110 GHz interconnects built in HRSi-based membrane technology, in Proc. IEEE 16th Workshop on Signal and Power Integraty, 2012, S. 3 6.
U. Triltsch, Hansen, U. , und Büttgenbach, S. , CAD environment for micro components, in Proc. Sensor, 2003, Bd. 2, S. 39 44.
S. Büttgenbach, Hansen, U. , Franke, H. - J. , und Germer, C. , CAD environment for silicon micromachining, in Proc. 47. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, 2002, S. 207 208.
S. Cao, Brand, U. , und Büttgenbach, S. , A calibration system for 3D micro probes, in Proc. 2nd VDE World Microtechnologies Congress, 2003, S. 619 623.
V. Javier Cadarso, Plaza, J. Antonio, Zinoviev, K. , Domínguez, C. , de Pedro, S. , Büttgenbach, S. , und Llobera, A. , Cantilever-based poly(dimethylsoloxane) microoptoelectromechanical systems, in Proc. IEEE Sensors, 2009, S. 413–417.
J. Dittmer, Judaschke, R. , und Büttgenbach, S. , Capacitive parallel-plate voltage sensor made of electroplated copper on a sacrificial layer, in Proc. 8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, 2009, S. 189 190.
T. Beutel, Ferreira, N. , Balck, A. , Leester-Schädel, M. , und Büttgenbach, S. , Cell manipulation system based on a silicon micro force sensor with self-calibration from backside, in Proc. IEEE Sensors Conference, 2010, S. 1419 1423.
A. 'aldeen T. Al-Halhouli, Kilani, M. I. , und Büttgenbach, S. , CFD simulations of viscous heating in a spiral-channel micropump, in Proc. Micro/Nanoscale Heat Transfer International Conference, 2008.
S. Bütefisch, Brand, U. , Leester-Schädel, M. , Hoxhold, B. , und Büttgenbach, S. , Characterisation of pneumatic and SMA micro-actuators with short response times and large exerted forces and deflections, in Proc. 10th International Conference on New Actuators, 2006, S. 483 486.
S. Bütefisch, Brand, U. , Leester-Schädel, M. , Hoxhold, B. , und Büttgenbach, S. , Characterisation of pneumatic- and SMA micro-actuators with short response times and large exerted forces and deflections, in ACTUATOR 2006, 2006, S. 483–486.
N. Hofmann, Tibrewala, A. , Balzer, F. G. , Hausotte, T. , Manske, E. , Jäger, G. , und Büttgenbach, S. , Characterisation of the metrological properties of 3D microprobes, in Proc. 9th International Conference and Exhibition on Laser metrology, Machine tool, CMM and Robotic Performance – LAMDAMAP, 2009, S. 243 252.
T. Beutel, Boese, C. , Luzemann, C. , Holle, A. , Leester-Schädel, M. , und Büttgenbach, S. , Characteristics of micro hot-film probes for aeronautical purposes, in Proc. 10th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2011), 2012, Bd. B3-1, S. 1 6.

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