Die Veröffentlichungen des IMT werden in Zukunft im Publikationsrepositorium der Universitätsbibliothek abgelegt, welches sich zur Zeit im Aufbau befindet. Zum Repositorium gelangen Sie über diesen Link.

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1991
M. Alavi, Büttgenbach, S. , Schumacher, A. , und Wagner, H. - J. , Anisotropes Ätzen von Silizium zur Herstellung von mikromechanischen Strukturen: Anisotropic etching of silicon for fabrication of micromechanical structures, in Erstes Symposium Mikrosystemtechnik, 1991, S. 229 232.
M. Alavi, Büttgenbach, S. , Schumacher, A. , und Wagner, H. - J. , Anisotropic etching of silicon for fabrication of micromechanical structures: Anisotropes Ätzen von Silizium zur Herstellung von mikromechanischen Strukturen, in Erstes Symposium Mikrosystemtechnik, 1991, S. 229–232.
S. Büttgenbach, Einführung in die Mikromechanik, PRONlC, S. 37 44, 1991.
Erstes Symposium Mikrosystemtechnik. 1991.
M. Alavi, Büttgenbach, S. , und Schuhmacher, A. , Festkörperlaser lösen Mikroverbindungsprobleme, SMD-Magazin, Bd. 1, S. 70 72, 1991.
S. Büttgenbach, Frequenzanaloge Sensoren, in Handbuch Technologietrends in der Sensorik und ihre industrielle Umsetzung, Düsseldorf, 1991.
V. D. I. -Bildungswerk, Handbuch {\dq}Technologietrends in der Sensorik und ihre industrielle Umsetzung{\dq}. VDI-Bildungswerk, Düsseldorf, 1991.
V. D. I. -Bildungswerk, Handbuch Technologietrends in der Sensorik und ihre industrielle Umsetzung. VDI-Bildungswerk, Düsseldorf, 1991.
M. Alavi, Büttgenbach, S. , Schumacher, A. , und Wagner, H. - J. , Laser machining of silicon for fabrication of new microstructures, IEEE, S. 512 515, 1991.
S. Büttgenbach, Prillwitz, B. , und Schmidt, B. , Materialien, Prozesse und Ausrüstungen der Mikromechanik: Vom Wafer zum Bauelement (Teil 2), Reinraumtechnik, Bd. 4, S. 26 29, 1991.
S. Büttgenbach, Prillwitz, B. , und Schmidt, B. , Materialien, Prozesse und Ausrüstungen der Mikromechanik: Vom Wafer zum Bauelement (Teil 1), Reinraumtechnik, Bd. 3, S. 16 21, 1991.
S. Büttgenbach, Microsystem technology, Medizintechnik, Bd. 111, S. 6–11, 1991.
S. Büttgenbach, Mikromechanik: Einführung in Technologie und Anwendungen. Stuttgart: Teubner, 1991.
S. Büttgenbach, Pavlicek, H. , und Schmidt, B. , Mikromechanikentwurf und Simulation, Fachbeilage Mikroperipherik, Bd. 5, S. 68 69, 1991.
S. Büttgenbach, Mikrosystemtechnik - Neue Chance für die Medizin, rmedizintechnik, Bd. 111, S. 6 11, 1991.
M. Alavi, Büttgenbach, S. , Schumacher, A. , und Wagner, H. - J. , New microstructures in silicon using laser machining and anisotropic etching, in Proc. 2nd International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components, 1991, S. 322 324.
Proc. 2nd International Conference on Micro Electro, Opto, Mechanic Systems and Components. 1991.
S. Büttgenbach, Prillwitz, B. , und Schmidt, B. , Technologieausstattung für die Mikromechanik, Fachbeilage Mikroperipherik, Bd. 5, S. 9 10, 1991.
1992
M. Alavi, Büttgenbach, S. , Schumacher, A. , und Wagner, H. - J. , Fabrication of microchannels by laser machining and anisotropic etching of silicon, Sensors and Actuators, Bd. A 32, S. 299 302, 1992.
V. D. I. -Bildungswerk, Handbuch zum Mechatronik-Workshop {\dq}Innovation im Maschinenbau durch Systemintegration von Mechanik und Mikroelektronik{\dq}. VDI-Bildungswerk, Düsseldorf, 1992.
Handbuch zum Mechatronik-Workshop: Innovation im Maschinenbau durch Systemintegration von Mechanik und Mikroelektronik. VDI-Bildungswerk, 1992.
S. Büttgenbach, Sensoren, Aktoren, Feldbusse - Komponenten mechatronischer Systeme, in Handbuch zum Mechatronik-Workshop: Innovation im Maschinenbau durch Systemintegration von Mechanik und Mikroelektronik, 1992.

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