Galerie

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Quarzkristall-Mikrowaage

Flexibles Sensorpatch

IMT Institutsausflug 2017

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Miniaturisierung von Drucksensoren

Emulgiersystem

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Pancreas on a chip

Dehnbare Polyimid-Struktur

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen