Galerie

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Pancreas on a chip

Quarzkristall-Mikrowaage

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

IMT Institutsausflug 2017

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Emulgiersystem

Flexibles Sensorpatch

Dehnbare Polyimid-Struktur

Miniaturisierung von Drucksensoren

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel