Galerie

Quarzkristall-Mikrowaage

Flexibles Sensorpatch

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

IMT Institutsausflug 2017

Pancreas on a chip

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Miniaturisierung von Drucksensoren

Dehnbare Polyimid-Struktur

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Emulgiersystem

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen