Galerie

IMT Institutsausflug 2017

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Pancreas on a chip

Dehnbare Polyimid-Struktur

Quarzkristall-Mikrowaage

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Emulgiersystem

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Miniaturisierung von Drucksensoren

Flexibles Sensorpatch

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen