Galerie

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

IMT Institutsausflug 2017

Quarzkristall-Mikrowaage

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Emulgiersystem

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Dehnbare Polyimid-Struktur

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Flexibles Sensorpatch

Miniaturisierung von Drucksensoren

Pancreas on a chip