Galerie

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Pancreas on a chip

Emulgiersystem

Flexibles Sensorpatch

Dehnbare Polyimid-Struktur

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Miniaturisierung von Drucksensoren

Quarzkristall-Mikrowaage

IMT Institutsausflug 2017

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen