Galerie

IMT Institutsausflug 2017

Emulgiersystem

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Dehnbare Polyimid-Struktur

Miniaturisierung von Drucksensoren

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Quarzkristall-Mikrowaage

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Pancreas on a chip

Flexibles Sensorpatch