Galerie

IMT Institutsausflug 2017

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Dehnbare Polyimid-Struktur

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Miniaturisierung von Drucksensoren

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Emulgiersystem

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Quarzkristall-Mikrowaage

Pancreas on a chip

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Flexibles Sensorpatch