Galerie

Dehnbare Polyimid-Struktur

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Pancreas on a chip

Miniaturisierung von Drucksensoren

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Flexibles Sensorpatch

Emulgiersystem

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

IMT Institutsausflug 2017

Quarzkristall-Mikrowaage