Galerie

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Pancreas on a chip

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Flexibles Sensorpatch

Miniaturisierung von Drucksensoren

Dehnbare Polyimid-Struktur

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

IMT Institutsausflug 2017

Emulgiersystem

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Quarzkristall-Mikrowaage