Galerie

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Emulgiersystem

IMT Institutsausflug 2017

Miniaturisierung von Drucksensoren

Dehnbare Polyimid-Struktur

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Pancreas on a chip

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Flexibles Sensorpatch

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Quarzkristall-Mikrowaage

Mikrotaster mit einer Metallmembran