Galerie

Flexibles Sensorpatch

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

IMT Institutsausflug 2017

Miniaturisierung von Drucksensoren

Quarzkristall-Mikrowaage

Emulgiersystem

Dehnbare Polyimid-Struktur

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Pancreas on a chip

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich