Galerie

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Dehnbare Polyimid-Struktur

IMT Institutsausflug 2017

Emulgiersystem

Quarzkristall-Mikrowaage

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Miniaturisierung von Drucksensoren

Flexibles Sensorpatch

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Pancreas on a chip