Galerie

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Dehnbare Polyimid-Struktur

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

IMT Institutsausflug 2017

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Quarzkristall-Mikrowaage

Pancreas on a chip

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Flexibles Sensorpatch

Miniaturisierung von Drucksensoren

Emulgiersystem