Galerie

Pancreas on a chip

Emulgiersystem

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Quarzkristall-Mikrowaage

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Miniaturisierung von Drucksensoren

Flexibles Sensorpatch

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Dehnbare Polyimid-Struktur

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

IMT Institutsausflug 2017

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln