Galerie

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Quarzkristall-Mikrowaage

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Dehnbare Polyimid-Struktur

Pancreas on a chip

Emulgiersystem

Miniaturisierung von Drucksensoren

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

IMT Institutsausflug 2017

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Flexibles Sensorpatch