Galerie

Flexibles Sensorpatch

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

IMT Institutsausflug 2017

Quarzkristall-Mikrowaage

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Pancreas on a chip

Miniaturisierung von Drucksensoren

Emulgiersystem

Dehnbare Polyimid-Struktur

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Mikrotaster mit einer Metallmembran