Galerie

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

Emulgiersystem

Flexibles Sensorpatch

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

IMT Institutsausflug 2017

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Dehnbare Polyimid-Struktur

Miniaturisierung von Drucksensoren

Pancreas on a chip

Quarzkristall-Mikrowaage

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich