Galerie

Emulgiersystem

Mikrotaster mit einer Metallmembran

Nanokanäle in Silizium (290 nm tief) mit Tulpenpolle als Größenvergleich

Pancreas on a chip

Quarzkristall-Mikrowaage

Optisches Mikrogyroskop mit drei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegel

IMT Institutsausflug 2017

Miniaturisierung von Drucksensoren

Mikrosystem zur Herstellung von Nanopartikeln

Dehnbare Polyimid-Struktur

Zwei in die Grundplattform eingelassene Mikro-Siliziumdoppelspiegeln die einen Laserstrahl im Dreieck führen

Flexibles Sensorpatch