Allgemeine Informationen 

Semester: Wintersemester                         

Modulnummer: MB-MT-24

Weitere Informationen: StudIP

Prüfungstermine: Übersicht Prüfungstermine IMT

 

Kurzportrait 

  • Vorstellung von Mikrosystemen
  • Einführung in Mikrosensor- und Mikroaktorprinzipien
  • Methoden der Sensorsignalverarbeitung
  • Auslegung von mikrotechnischen Konzepten und Systemen
  • Auslegung von Mikrofluidischen Systemen im Bereich Life-Science
Mikrobioreaktor

 

Beschreibung 

Das Modul behandelt die drei Themenschwerpunkte Mikrosensoren, Mikroaktoren und Mikrosysteme. Zu den Mikrosensoren gehören kapazitive, piezoresistive, induktive und resonante Sensoren, die auf Basis verschiedener Fertigungsverfahren hergestellt werden. Die Fertigungsverfahren der Volumen- und Oberfläch-enmikromechanik werden vorgestellt. Darüber hinaus werden die Tiefenlithografie, Mikrogalvanik und Soft-lithografie näher erläutert. Für die Weiterverarbeitung eines Sensorsignals werden Methoden zur Signalver-arbeitung vermittelt.                         

Der Themenschwerpunkt Mikroaktorik konzentriert sich auf elektromagnetische und Formgedächtnisaktoren, deren Aufbau, Auslegung und Funktionsweise.

Der Bereich Mikrosysteme umfasst mikrofluidische Systeme, Lab-on-Chip-Systeme, Mikroreaktoren und mikrooptische Systeme.