Allgemeine Informationen 

Semester: Sommersemester        

Modulnummer: MB-MT-020

Weitere Informationen: StudIP

Prüfungstermine: Übersicht Prüfungstermine IMT

 

Kurzportrait 

  • Aufbau von Reinräumen, Lüftungs- und Filtertechniken
  • Materialien für Mikrosysteme
  • Mikrotechnische Fertigungsprozesse
  • Aufbau- und Verbindungstechnik
 

 

Beschreibung 

In diesem Modul werden die Grundlagen für die Herstellung von MEMS (Mikro-elektro-mechanische-Systemen) vermittelt. Die Lehrveranstaltung beginnt mit einer Einführung in die Reinraumtechnik und das reinraumgerechte Verhalten und einer Vorstellung der derzeit wichtigsten Materialien für den Aufbau von Mikrosystemen. Anschließend werden die wesentlichen Fertigungsverfahren bearbeitet:        

Technologien zur Abscheidung dünner Schichten Lithographie

  • Ätzverfahren
  • Laser-Mikrobearbeitung
  • Konventionelle Fertigungsverfahren
  • Aufbau- und Verbindungstechnik

Zur Übung gehört die Besichtigung des institutseigenen Reinraums