Allgemeine Informationen 

Semester: Sommersemester 

Modulnummer: MB-MT-006

Weitere Informationen: StudIP

Prüfungstermine: Übersicht Prüfungstermine IMT

 

Kurzportrait

  • Erlernen von reinraumgerechtem Verhalten
  • Praktische Einführung in grundlegende mikrotechnische Fertigungsverfahren
  • Überprüfen der Fertigungsschritte (QM)
  • Praktisches Kennenlernen von typischen  Herausforderungen, die bei der
    Planung und Durchführung von mikrotechnischen Prozessabläufen entstehen
Messbrücke

 

Beschreibung 

Am Beispiel der Herstellung eines Kraftsensors sollen grundlegende mikrotechnische Fertigungsverfahren, wie z.B. die Fotolithografie, die Dünnschichttechnik und das nasschemische Ätzen praktisch erlernt werden. 

Der dazu notwendige theoretische Hintergrund wird beispielsweise in den Vorlesungen „Grundlagen der Mikrosystemtechnik“ und „Anwendungen der Mikrosystemtechnik“ von Prof. Dietzel vermittelt.