TitleTrends bei der Entwicklung von Normalen für die Mikro- und Nanomesstechnik: Trends in development of standards for micro- and nanometrology
Publication TypeJournal Article
AuthorsWeckenmann, A, Wiedenhöfer, T, Büttgenbach, S, Krah, T, Fleischer, J, Buchholz, I, Viering, B, Kranzmann, A, Ritter, M, Krüger-Sehm, R, Bakucz, P, Schmitt, R, Koerfer, F