TitleTrends in development of standards for micro-and nanometrology: Chances and challenges [Trends bei der entwicklung von normalen für die mikro-und nanomesstechnik: Herausforderungen und lösungsansätze]
Publication TypeJournal Article
AuthorsWeckenmann, A, Wiedenhöfer, T, Büttgenbach, S, Krah, T, Fleischer, J, Buchholz, I, Viering, B, Kranzmann, A, Ritter, M, Krüger-Sehm, R, Bakucz, P, Schmitt, R, Koerfer, F