Arbeitsgebiete

Mikrotechnologie

  • Silizium-Mikromechanik, Quarztechnologie, UV-LIGA, Softlithographie, CAD für Mikro­systeme

Mikro-Systeme

  • Mikroaktoren, Mikrosensoren, MagMEMS, Lab-on-Chip, Mikroreaktoren
 

 

Sonstiges

  • Ordentliches Mitglied der Deutschen Akademie der Technikwissenschaften
  • Ordentliches Mitglied der Braunschweigischen Wissenschaftlichen Gesellschaft
  • Mitglied des Wissenschaftlichen Beirats des CiS Forschungsinstituts für Mikrosensorik
  • Senior Adviser der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
  • Mitglied der Bewertungsgruppe Elektrotechnik und Informationstechnik des Wissenschaftsrates (2009-2011)
  • GMM-Award der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (2008)
  • Vorsitzender des Vorstandes der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik, Mitglied des Präsidiums des VDE (2005-2007)
  • Programmbeauftragter für die Doppeldiplomprogramme mit der Université de Technologie de Compiègne (UTC) und dem Centro Politécnico Superior (CPS) Zaragoza (2005-2012)
  • Mitglied des Fachkollegiums Systemtechnik der DFG (2004-2011), Sprecher des Fachkollegiums (2008-2011)
  • Ehrenplakette des VDI (2003)
  • Mitglied des Wissenschaftlichen Rates der Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen (1994-1999)
  • Gründungsmitglied der Deutschen Forschungsgesellschaft für Automatisierung und Mikroelektronik e.V. (1990)
  • Stipendiat der Studienstiftung des Deutschen Volkes (1964-1970)
 

Kurzlebenslauf

Akademische Ausbildung

  • 1970
    Diplom-Physiker
  • 1973
    Promotion (Physik Universität Bonn)
  • 1980
    Habilitation (Physik Universität Bonn)

Beruflicher Werdegang

  • 2011 - 2015
    Seniorprofessor (Niedersachsen-Professur Forschung 65+), Institut für Mikrotechnik der Technischen Universität Braunschweig
  • 2005 - 2010
    Sprecher des Sonderforschungsbereichs 516 – Konstruktion und Fertigung aktiver Mikrosysteme
  • 2004 - 2006
    Vizepräsident für Forschung, wissenschaftlichen Nachwuchs und Technologietransfer, TU Braunschweig
  • 1999 - 2001
    Dekan der Fakultät für Maschinenbau, TU Braunschweig
  • 1991 - 2011
    Universitätsprofessor für Mikrotechnik, Technische Universität Braunschweig,
    geschäftsführender Leiter des Instituts für Mikrotechnik
  • 1988 - 1991
    Wissenschaftlicher Leiter des neu gegründeten Instituts für Mikro- und Informationstechnik
    der Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung (HSG) in Villingen-Schwenningen
  • 1986 - 1991
    Lehrbeauftragter für das Fach Mikrotechnik, Fakultät Konstruktions- und Fertigungstechnik, Universität Stuttgart
  • 1985 - 1988
    Leiter der Abteilung Mikrotechnik der HSG in Stuttgart, Geschäftsführer der HSG (1986-1988)
  • 1983 - 1985
    Universitätsprofessor für Physik, Universität Bonn, Gastprofessor McGill University, Montreal, Canada, 1984
  • 1977 - 1978
    Gastwissenschaftler beim CNRS  und an der Université Paris-Sud in Orsay und Scientific
    Associate am Europäischen Forschungszentrum CERN in Genf
  • 1974 - 1983
    Wissenschaftlicher Assistent, Institut für Angewandte Physik, Universität Bonn
  • 1970 - 1973
    Wissenschaftlicher Mitarbeiter, Institut für Angewandte Physik, Universität Bonn