Arbeitsgebiete

DeFact - Desktop Factory für Mirkosysteme

  • Mutifunktionale Plattform zum Messen, Prüfen, Montieren und Manipulieren von Mikrosystemen
  • Integration von verschiedener Messverfahren, Sensoren und Aktoren in einem System
  • Spezieller Werkzeugwechsler für die Anwendung mit Mikrosystemen
  • Entwicklung von Messelektronik
  • Anwendunsspezifische Softwareentwicklung

Softwareentwicklungsumgebung für Mikrosysteme

  • Softwaregestützte Entwicklung von Mikrosystemen
  • Prozessgerechtes Design basierend auf einer Prozessdatenbank
  • Auswertung der Prozessparameter
  • Unterstützung der Qualitätssicherung

Elektromagnetische Mikroaktoren

  • Mikrosynchronmotoren - Herstellung und Charakterisierung
  • Mikroroboter - Herstellung und Charakterisierung

Simulationswerkzeuge für die Mikrosystemtechnik

  • Prozessbegleitende Simulation von mikrotechnischen Herstellungsverfahren
  • Simulation des nasschemischen Siliziumätzens
  • Simulation von Belichtungsvorgängen bei Lithografieprozessen

 

Lehraufgaben

Studentische Arbeiten

  • Betreuung diverser Bachelor-, Projekt-, und Masterarbeiten
 

 

Kurzlebenslauf

Geboren 1979 in Weißenfels, Deutschland

Studium

  • seit 2008 Promotionsstudium an der Fakultät für Maschinenbau der TU Braunschweig
  • Diplomstudium Maschinenbau (Mechatronik), TU Braunschweig
  • Diplomarbeitsthema: "Entwicklung und Aufbau eines vollautomatisierten Mehrkoordinaten Mess- und Prüfsystems

seit 2008 Wissenschaftlicher Mitarbeiter im Institut für Mikrotechnik, TU Braunschweig